大型多弧离子镀膜机

机型有:SA--1830-26-DN
用途及使用范围
1. SA-26-N型离子镀膜机是一台大型多弧真空等离子镀膜设备,应用多弧镀膜新工艺,可在不锈钢、碳钢、高速钢、硬质合金、锌铝合金、电镀件、玻璃、陶瓷等金属及非金属材料表面镀覆TiN、ZrN、ZrNC、CrN、TiNC及其它复合膜层,提高制品表面耐磨、抗蚀性能, 并提高装饰性。
2. 该机为建筑五金装饰件特别开发的大型镀膜机,在设计时为保证镀制大型板材和管材工艺的特殊需要,对普通多弧设备进行了硬件和软件两方面的特殊改进,使该机成为目前国内较大型的离子镀膜机,该机特别适用于楼梯扶手、镜钢板等大型五金产品的镀膜加工。
我们曾经制造了据知世界最大的多弧离子镀膜机,装备98只离化源。
技术指标
1 镀膜室尺寸:Φ 1800mm × H3000mm
2 极限真空度:优于<1.3×10-3pa(冷态包括转架)
3 工作压强 6.6×10- 3pa
4 二次恢复时间 <20 min
5 漏率 0.67Pa/h
6 多弧蒸发离化源数: 26 个
7 磁控溅射靶: 无(可选配2个)
8 负偏压电源:
9 工件架转速:
-
公转转速 0~4r/min 变频调速
-
自转转速 0~15r/min 变频调速
10 供气系统:
气路数 4路
每路流量 500-1000 SCCM
11 烘烤加热器输出功率:36KVA max, 3相 380V
12 设备总功率:110KVA max,380伏、三相四线制;
13 温度测量方式:热电偶,可选配红外测温仪
14 设备总重:7t
15 设备占地面积:50平米
16 冷却水流量: 2t/hr (进水温度25摄氏度以下,压力2KG/CM 2)
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