|
|
实验室专用镀膜机
用途及使用范围
1 SA-0909-A6-P 型离子镀膜机是一台专为学校以及科研单位研发的小型离子镀膜设备 ，可用于各种PVD试验。
2 该机为特别开发的实验室专用机。
技术指标
1 镀膜室尺寸:Φ900 mm X H 900 mm
2 极限真空度:优于＜1.3×10-3pa（冷态包括转架）
3 排空时间:（冷态，包括工件架）在扩散泵已正常工作情况下,从大气抽至6.6 x 10-3 Pa时间〈 20min
4 等离子体加速器蒸发离化源数:6个。
采用最新开发的五极离化源:确保颗粒细腻;幅射均匀;高真空稳弧 。
技术特征:
-
内置加速电场
-
恒定高斯的水平磁场
-
直接水冷（或间接水冷）
-
自动引弧
-
快速续弧
-
采用自稳弧电源
5 工件架直流负偏压电源：20 KVA。采用我公司独有的工具镀专用偏压电源 ，具有特殊保护电路和快速灭弧装置。
技术特征 ：
6 工件架转速 额定值:公转转速4r/mim,自转转速15r/min。
-
变频调速,无级渐变,缓起缓停,可换向
-
负重40KG
7 供气系统:两路（可选配三路或四路）比例给气自动质量流量控制.流量500—1000 SCCM 每路
-
自动跟随真空室压强,自动调节进气量
-
每路气均有质量流量显示
-
无需混气罐,调节无滞后
-
预设比例,总量自动或手动均可
-
预设强置换功能,生成起步气冲
8 加热器输出功率0-18KW
9 压强控制:节流阀;自动压强调节
10 设备总功率: 50KVA,380V,三相四线制
11 温度测量方式:热电偶
表面测温方式:红外测温仪（选购件）
12 设备总功率:110KVA max,380伏、三相四线制
13 温度测量方式:热电偶,可选配红外测温仪
14 设备总重:2t
15 设备占地面积:2m X 3m
16 冷却水流量:2.5t/hr（进水温度25摄氏度以下，压力2KG/CM 2）
价格请向销售部门查询 |
