多弧+溅射专业型复合镀膜机

用途及使用范围

1  SA1315-A8M2型离子镀膜机是一台多弧+溅射复合离子镀膜设备 ，可在不锈钢 、碳钢 、硬质合金、玻璃 、陶瓷等金属及非金属材料表面镀覆 TiN 、ZrN、ZrNC、CrN、TiNC及其它复合膜层 ，从而提高制品表面的耐磨性能和抗蚀性能 ，并提高产品的高技术含量。

2  该机为特别开发的磁控+溅射复合镀膜机。

技术指标

镀膜室尺寸:Φ800 mm X H1200 mm  :Φ1200 mm XH 900 mm :Φ1300 mm X H1500 mm

极限真空度:优于＜1.3×10-3pa（冷态包括转架）

排空时间:从大气抽至6.6 x 10-3 Pa时间〈 20min

等离子体加速器离化源数:8个

距形溅射靶2个

采用最新开发的五极离化源:确保颗粒细腻;幅射均匀;高真空稳弧

• 内置加速电场

• 恒定高斯的水平磁场

• 直接水冷（或间接水冷）

• 自动引弧

• 快速续弧

• 采用自稳弧电源

偏压电源：20 KVA。采用我公司独有的专用大功率偏压电源和溅射靶专用电源 ，具有特殊保护电路和快速灭弧装置。

• 20KW配8弧设备使用,每弧分配功率高达3KW。装满炉,开全靶,1 KV 齐轰轻松自如

• 特定函数波形输出,彻底消除危害性弧光

• 数字逻辑控制,准确无误

• 调制电压的主弧轰击,场能强大

• 辅助的快速恢复功能,减少活化时间 

工件架转速

• 变频调速,无级渐变,缓起缓停,可换向

• 负重200KG

供气系统:两路

• 自动跟随真空室压强,自动调节进气量

• 每路气均有质量流量显示

• 无需混气罐,调节无滞后

• 预设比例,总量自动或手动均可

• 预设强置换功能,生成起步气冲

加热器输出功率0-18KW

压强控制:节流阀;自动压强调节

设备总功率:110KVA,380V,三相四线制

温度测量方式:热电偶

设备总功率:110KVA max,380伏、三相四线制

设备总重:3.5t

设备占地面积:5m X 8m

冷却水流量:2.5t/hr（进水温度25摄氏度以下，压力2KG/CM 2）

价格请向销售部门查询

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