|
|
手机专用镀膜机
用途及使用范围
1 SA-M6-D 型离子镀膜机是一台磁控溅射离子镀膜设备 , 可在不锈钢 ，碳钢 ，硬质合金 ，玻璃 ，陶瓷等金属及非金属材料表面镀覆 TiN ，ZrN，ZrNC，CrN，TiNC及其它复合膜层 ，从而提高制品表面的耐磨性能和抗蚀性能 ，并提高产品的高技术含量。
2 该机为特别开发的手机部件专用镀膜机。
技术指标
1 镀膜室尺寸:Φ1200 mm X 900 mm ； Φ1500 mm X 1200 mm
2 极限真空度:优于＜1.3×10-3 pa（冷态包括转架）
3 排空时间:（ 冷态，包括工件架 ）在扩散泵已正常工作情况下,从大气抽至6.6 x 10-3 Pa时间〈 20min
4 等离子体溅射靶数:6个。
距形平面溅射靶和旋转溅射靶:确保颗粒细腻;幅射均匀;高真空工作平稳.技术特征 ：
-
内置加速电场
-
恒定高斯的水平磁场
-
直接水冷（或间接水冷）
-
采用溅射靶专用电源
5 溅射电源采用我公司独有的手机镀膜专用溅射电源,具有特殊保护电路装置.技术特征:
-
特定函数波形输出,彻底消除危害性弧光
-
数字逻辑控制,准确无误
-
调制电压的场能强大
-
辅助的快速恢复功能,减少活化时间
6 工件架转速（内6轴外8轴）额定值:公转转速4r/mim,自转转速15r/min。
-
变频调速,无级渐变,缓起缓停,可换向
-
负重250KG
7 供气系统:两路（可选配三路或四路）比例给气自动质量流量控制.流量500—1000SCCM每路
-
自动跟随真空室压强,自动调节进气量
-
每路气均有质量流量显示
-
无需混气罐,调节无滞后
-
预设比例,总量自动或手动均可
-
预设强置换功能,生成起步气冲
8 加热器输出功率0-21KW
9 压强控制:节流阀;自动压强调节
10 设备总功率:140KVA ,380V，三相四线制
11 温度测量方式:热电偶
表面测温方式:红外测温仪（选购件）
12 设备总功率:110KVA max,380伏、三相四线制；
13 温度测量方式:热电偶,可选配红外测温仪
14 设备总重:4.5t
15 设备占地面积:6m X 8m
16 冷却水流量: 2t/hr （进水温度25摄氏度以下，压力2KG/CM 2）
价格请向销售部门查询 |
