玻璃专用镀膜机

用途及使用范围

该机为特别开发的玻璃专用镀膜机。

技术指标

1 镀膜室尺寸: Φ1200 mm X 900 mm : Φ1200 mm X 1500 mm  : Φ1500 mm X 1200 mm

2 极限真空度:优于＜1.3×10-3pa（冷态包括转架）

3 排空时间:（冷态，包括工件架）在扩散泵已正常工作情况下

从大气抽至6.6 x 10-3 Pa时间〈 20min

4 等离子体加速器型离化源数:8个；矩形溅射靶2个。

采用最新开发的五极离化源:确保颗粒细腻;幅射均匀;高真空稳弧 。技术特征:

• 内置加速电场

• 恒定高斯的水平磁场

• 直接水冷（或间接水冷）

• 自动引弧

• 快速续弧

• 采用自稳弧电源

5 工件架直流负偏压电源：30 KVA。采用我公司独有的专用大功率偏压电源和溅射靶专用电源 ，具有特殊保护电路和快速灭弧装置。

技术特征 ：

• 30KW配8弧设备使用,每弧分配功率高达3.75KW。

• 特定函数波形输出,彻底消除危害性弧光

• 数字逻辑控制,准确无误

• 调制电压的主弧轰击,场能强大

• 辅助的快速恢复功能,减少活化时间 

6 工件架转速（内6轴外8轴）额定值:公转转速4r/mim,自转转速15r/min。

• 变频调速,无级渐变,缓起缓停,可换向

• 负重200KG

7 供气系统:两路（可选配三路或四路）比例给气自动质量流量控制.流量500—1000 SCCM 每路

• 自动跟随真空室压强,自动调节进气量

• 每路气均有质量流量显示

• 无需混气罐,调节无滞后

• 预设比例,总量自动或手动均可

• 预设强置换功能,生成起步气冲

8 加热器输出功率0-18KW

9 压强控制:节流阀;自动压强调节

10 设备总功率:80KVA,380V,三相四线制

11 温度测量方式:热电偶

    表面测温方式:红外测温仪（选购件）

12 设备总重:3.5t

13 设备占地面积:5m X 8m

14 冷却水流量:2.5t/hr（进水温度25摄氏度以下，压力2KG/CM 2）

价格请向销售部门查询

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