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墙幕玻璃磁控溅射镀膜设备

包括:水平双端流水线式;水平单端流水线式;立式单/双端流水线式

 

墙幕玻璃磁控溅射镀膜机,采用平面磁控溅射靶,可以在大平板浮法玻璃上镀制金属单质膜、复合膜、 L E辐射膜,也可在小弯的弧形玻璃上镀膜。
最大可镀玻璃尺寸:2440×3300(毫米)
多真空室,多溅射室结构,可供用户选择,真空室之间有真空锁隔离。
卧式磁控生产线有单端、双端形式,玻璃从清洗、镀膜、检测等一次完成。
生产线采用PLC全过程控制,并配有彩色显示屏,显示镀膜工艺过程参数。

墙幕玻璃磁控溅射镀膜设备主要技术参数
可镀玻璃最大尺寸(mm) 2440X3300
生产节拍(分钟/片) 3
极限压力(Pa) 2X10-3
靶数量(个) 3
溅射功率(KW) 100X3
装机功率(KW) 420
真空室数量(个) 9
其中溅射室数量(个) 3
控制方式 PLC

 
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