全自动计算机控制软体

北京东方亚科技术发展有限公司生产以SINOARC为品牌的系列离子镀膜机均采用了PLC(下位机) + IPC（上位机）的计算机自动控制结构, 主要有以下优点：

主要优点:

• 更加人性化的操作界面，使对设备的操作变得简单易行

• 完全自动化控制，使工艺更加稳定

• 自动化生产节约了大量时间和成本，单机创造更大的价值

数控节流阀

节流阀采用微电脑控制的步进电机，主要有如下优点：

主要优点:

• 节流阀在0~90度任意可调

• 控制角度精确，工艺稳定

• 数据设置操作简单

工具镀专用大功率偏压电源

工具镀对镀层的质量要求比较高，一般需要：1，极好的结合力；2，好的膜层致密性，结晶完整性；3，工件表面尽量避免放电缺陷存在。而提高偏压电源的功率能很好的解决镀层的质量问题。

主要优点:

• 60KW配TG8使用,功率强劲;主弧轰击汹涌澎湃

• 装满炉,开全靶,1000V齐轰轻松自如

• 函数波形输出,起弧可能减至最小

• 数字逻辑控制,准确无误

• 调制电压的主弧轰击,功力强劲

• 强力快恢复功能,减少活化时间

罗茨泵随动系统

东方亚科采用罗茨泵+变频器的罗茨泵随动系统有以下优点：

主要优点:

• 控制电机的启动电流

• 降低电力线路电压波动

• 启动时需要的功率更低

• 可控的加速功能

• 可调的运行速度

• 可调的转矩极限

• 受控的停止方式

• 节能

• 可逆运行控制

• 减少机械传动部件

比例给气自动流量控制器

可以给客户的PVD设备加上比例给气自动流量控制器，加上比例给气自动流量控制器的PVD设备会有如下优点，让客户的PVD生产更加得心应手。

主要优点:

• 可以让三或四路气按预定比例关系充入真空室

• 无需混气罐,调节无滞后

• 自动跟随真空室压强,自动调节进气量

• 每路气均有精确的流量显示

• 预设强置换功能,生成起步气冲

• 预设各路气比例,总量随压强自动调节（或:预设各路气比例,总量手动调节;或:一至两(或三) 路气随压强自动调节,其余各路手动调节）

中频溅射技术

磁控溅射中频电源是一个AC-DC-AC电能变换装置，输出频率为40KHz，电压为几百伏的交流电，一般由整流电路，逆变电路，控制电路，保护电路和辅助装置部分组成。首先将380V的三相交流电整流得到脉冲动直流，经滤波得到平滑的直流。变换器采用单相全桥逆变器，功率开关器件选用IGBT，谐振电路采用电感串联电容，再与电容并联的结构形式（以下简称LCC），最后将高频变压器接至并联的电容器两端，变压器次级接磁控溅射靶极。控制电路采用脉冲宽调制电路（PWM）TL494完成，调节器为PI调节；采用阻抗法阈值比较灭弧电路；当电路输出电流过大，输出电压过高或逆变器桥臂过流等情况发生时，启动保护电路切断PWM的输出信号。

其它技术

• 低泄漏技术

• 离子过滤技术

• 精准控制系统

• 各点精准控温