镀黑专用镀膜机
用途及使用范围
1. SA-1512-M10-DP型离子镀膜机是一台中频溅射镀膜设备,应用中频镀膜新工艺,可在不锈钢、碳钢、高速钢、硬质合金、锌铝合金、电镀件、玻璃、陶瓷等金属及非金属材料表面镀覆TiN、ZrN、ZrNC、CrN、TiNC及其它复合膜层,提高制品表面耐磨、抗蚀性能, 并提高装饰性。
2. 该机在设计时为保证镀黑工艺的特殊需要，对普通中频设备进行了硬件和软件两方面的特殊改进，使该机特别适用于镀黑色膜层。
技术指标
1 镀膜室尺寸:Φ 1500mm × H1200mm
2 极限真空度:优于＜1.3×10-3pa（冷态包括转架）
3 工作压强: 6.6×10- 3pa
4 二次恢复时间: ＜20 min
5 漏率: 0.50Pa/h
6 靶位: 10 个
7离子源: 1个
8 电源: 20KVA
9 工件架转速:
-
公转转速 0～4r/min 变频调速
-
自转转速 0～15r/min 变频调速
10 供气系统:
气路数 4路
每路流量 500-2000 SCCM
11 烘烤加热器输出功率:36KVA max, 3相 380V
12 设备总功率:110KVA max,380伏、三相四线制；
13 温度测量方式:热电偶,可选配红外测温仪
14 设备总重:5t
15 设备占地面积:50平米
16 冷却水流量:2.5t/hr（进水温度25摄氏度以下，压力2KG/CM 2）
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