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用途及使用范围 1. SA-14-1250型离子镀膜机是一台真空等离子镀膜设备,应用多弧镀膜新工艺,可在不锈钢、碳钢、高速钢、硬质合金、锌铝合金、电镀件、玻璃、陶瓷等金属及非金属材料表面镀覆TiN、ZrN、ZrNC、CrN、TiNC及其它复合膜层,提高制品表面耐磨、抗蚀性能, 并提高装饰性。 2. 该机在设计时为保证镀锆工艺的特殊需要,对普通多弧设备进行了硬件和软件两方面的特殊改进,使该机成为目前国内可大批量镀锆的最佳离子镀膜机,并常年为美国某著名厂家加工卫浴五金。该机特别适用于卫浴五金和门锁五金产品的镀锆加工。 技术指标 1 镀膜室尺寸:Φ 1250mm × H1500mm 2 极限真空度:优于<1.3×10-3pa(冷态包括转架) 3 工作压强 6.6×10- 3pa 4 二次恢复时间 <20 min 5 漏率 0.67Pa/h 6 多弧蒸发离化源数: 14 个 7 磁控溅射靶: 无(可选配2个) 8 负偏压电源:
9 工件架转速:
10 供气系统: 气路数 4路 每路流量 500SCCM 11 烘烤加热器输出功率:36KVA max, 3相 380V 12 设备总功率:110KVA max,380伏、三相四线制; 13 温度测量方式:热电偶,可选配红外测温仪 14 设备总重:5t 15 设备占地面积:30平米 16 常温冷却水流量:3t/hr 低温冷却水流量:0.24t/hr 水压限制 0.5-1.5Kg/cm2 价格 | |
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SA-14-1250离子镀膜机 | |
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标准控制柜 | |
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