用途及使用范围

1  SA-12T 型离子镀膜机是一台多弧离子镀膜设备 , 可在不锈钢 ，碳钢 ，硬质合金 ，玻璃 ，陶瓷等金属及非金属材料表面镀覆 TiN ，ZrN，ZrNC，CrN，TiNC及其它复合膜层 ，从而提高制品表面的耐磨性能和抗蚀性能 ，并提高产品的高技术含量。

2 该机为特别开发的工具镀专用机。

技术指标

1 镀膜室尺寸:Φ1250mm X 1500mm  

2 极限真空度:优于＜1.3×10-3pa（冷态包括转架）

3 排空时间:（冷态，包括工件架）在扩散泵已正常工作情况下，从大气抽至6.6x10-3 Pa时间〈 20min

4 等离子体加速器蒸发离化源数:12个。采用最新开发的五极离化源:确保颗粒细腻;幅射均匀;高真空稳弧.技术特征:

  • 内置加速电场

  • 恒定高斯的水平磁场

  • 直接水冷（或间接水冷）

  • 自动引弧

  • 快速续弧

  • 采用自稳弧电源

5 工件架直流负偏压电源:90KVA.采用我公司独有的工具镀专用大功率偏压电源,具有特殊保护电路和快速灭弧装置.技术特征:

  •  60KW配8弧设备使用,每弧分配功率高达7.5KW。装满炉,开全靶,1KV齐轰轻松自如

  • 特定函数波形输出,彻底消除危害性弧光

  • 数字逻辑控制,准确无误

  • 调制电压的主弧轰击,场能强大

  • 辅助的快速恢复功能,减少活化时间 

6 工件架转速（内6轴外8轴）额定值:公转转速4r / mim，自转转速15r / min。

  • 变频调速,无级渐变,缓起缓停,可换向

  • 负重250KG

7 供气系统:两路（可选配三路或四路）比例给气自动质量流量控制.流量500—1000SCCM每路

  • 自动跟随真空室压强,自动调节进气量

  • 每路气均有质量流量显示

  • 无需混气罐,调节无滞后

  • 预设比例,总量自动或手动均可

  • 预设强置换功能,生成起步气冲

8 加热器输出功率  0-21KW

9 压强控制:节流阀;自动压强调节

10 设备总功率:140KVA ，380V，三相四线制

11 温度测量方式:热电偶

      表面测温方式:红外测温仪 （选购件）

12 设备总功率:110KVA max,380伏、三相四线制；

13 温度测量方式:热电偶,可选配红外测温仪

14 设备总重:5t

15 设备占地面积:5m×6m

16 冷却水流量:3t/hr （进水温度25摄氏度以下，压力2KG/CM 2）

价格

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SA-12T离子镀膜机

控制柜内部结构1

控制柜内部结构2

　
　
　
　
　
　
　
　
　
　
　
　
　
　
　
　
　
　
　
　
　
　
　
　
　
　
　

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