当你感到现有的引弧系统工作起来不够可靠;或者维护成本过高时,你就可以考虑是不是对此加以改造，改造需要的资金大约是每个离化源1000 元人民币,改造后的引弧系统有以下几个优点：

主要优点:

  • 快速连续引弧

  • 快速续弧.自动续弧间隔小至100MS以内

  • 高可靠性;长寿命.无维护费用,彻底解决了传统引弧电气部件易于烧毁的弊病

  • 相邻的引弧板可以互相帮助

当你对镀膜的质量不大满意的时候，或者你对镀膜的质量有更高的要求时，那可能就是你的PVD设备的偏压电源需要改造的时候了。一般改造后的偏压电源能有如下优点：

主要优点:

  • 自动生成阀值,无需经常调节

  • 开关电源供电,强大的抗干扰能力

  • 函数波形输出,起弧可能减至最小

  • 数字逻辑控制,准确无误

  • 调制电压的主弧轰击,功力强劲

  • 强力快恢复功能,减少活化时间

工具镀对镀层的质量要求比较高，一般需要：1，极好的结合力；2，好的膜层致密性，结晶完整性；3，工件表面尽量避免放电缺陷存在。而提高偏压电源的功率能很好的解决镀层的质量问题。

主要优点:

  • 60KW配TG8使用,功率强劲;主弧轰击汹涌澎湃

  • 装满炉,开全靶,1000V齐轰轻松自如

  • 函数波形输出,起弧可能减至最小

  • 数字逻辑控制,准确无误

  • 调制电压的主弧轰击,功力强劲

  • 强力快恢复功能,减少活化时间

可以给客户的PVD设备加上比例给气自动流量控制器，加上比例给气自动流量控制器的PVD设备会有如下优点，让客户的PVD生产更加得心应手。

主要优点:

  • 可以让三或四路气按预定比例关系充入真空室

  • 无需混气罐,调节无滞后

  • 自动跟随真空室压强,自动调节进气量

  • 每路气均有精确的流量显示

  • 预设强置换功能,生成起步气冲

  • 预设各路气比例,总量随压强自动调节（或:预设各路气比例,总量手动调节;或:一至两(或三) 路气随压强自动调节,其余各路手动调节）

东方亚科还为客户提高其它方面的许多服务项目，包括：

  • 提供各种多弧离化源;平面磁控溅射靶;圆柱磁控溅射靶以及配套的溅射电源

  • 提供各种配件

  • 工艺服务及设备改造

　

ARC-200弧电源

　

　
　
　

大功率偏压电源

　
　
　
　
　

Copyright(C) 北京东方亚科技术发展有限公司版权所有 Tel 0086-10-88148410
 京ICP备05046010号