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pvd电弧深黑技术

电弧法一般无法实现深黑色的镀层,只能镀到深灰。采用电弧深黑技术可以实现深黑电弧镀层。

  • 适于低成本镀制深黑色膜层
  • 在五金卫浴门锁领域有着广阔的应用前景

pvd离子过滤

电弧法的离子颗粒较大,采用离子过滤技术可以大幅改善膜层质量。

  • 滤除大颗粒和原子团
  • 实现镜面膜

pvd比例给气自动流量控制器

比例给气自动流量控制器的PVD设备会让生产更加得心应手。

  • 预定加减气体函数。
  • 实现渐进给气

pvd数控节流阀

节流阀采用微电脑控制的步进电机,主要有如下优点:

  • 节流阀在0~90度任意可调
  • 控制角度精确,工艺稳定
  • 数据设置操作简单

 

工具镀膜机

 

用途及使用范围

1 SA1010-A8-TP 型离子镀膜机是一台多弧离子镀膜设备 ,可在不锈钢 ,碳钢 ,硬质合金 ,玻璃 ,陶瓷等金属及非金属材料表面镀覆 TiN ,ZrN,ZrNC,CrN,TiNC及其它复合膜层 ,从而提高制品表面的耐磨性能和抗蚀性能 ,并提高产品的高技术含量。

2 该机为特别开发的工具、模具硬质镀膜专用机。

技术指标

镀膜室尺寸:Φ1000 mm X 1000 mm

极限真空度:优于<1.3×10-3pa(冷态包括转架)

排空时间:(冷态,包括工件架)在扩散泵已正常工作情况下,从大气抽至6.6 x 10-3 Pa时间〈 20min

等离子体加速器离化源数:8

采用最新开发的五极离化源:确保颗粒细腻;幅射均匀;高真空稳弧

  • 内置加速电场

  • 恒定高斯的水平磁场

  • 直接水冷(或间接水冷)

  • 自动引弧

  • 快速续弧

  • 采用自稳弧电源

工件架直流负偏压电源:60 KVA

采用我公司独有的工具镀专用大功率偏压电源 ,具有特殊保护电路和快速灭弧装置

  • 60KW配8弧设备使用,每弧分配功率高达7.5KW。装满炉,开全靶,1 KV 齐轰轻松自如

  • 特定函数波形输出,彻底消除危害性弧光

  • 数字逻辑控制,准确无误

  • 调制电压的主弧轰击,场能强大

  • 辅助的快速恢复功能,减少活化时间

工件架转速(内6轴外8轴)额定值:公转转速4r/mim,自转转速15r/min。

  • 变频调速,无级渐变,缓起缓停,可换向

  • 负重200KG

供气系统:两路(可选配三路或四路)比例给气自动质量流量控制.流量500—1000 SCCM 每路

  • 自动跟随真空室压强,自动调节进气量

  • 每路气均有质量流量显示

  • 无需混气罐,调节无滞后

  • 预设比例,总量自动或手动均可

  • 预设强置换功能,生成起步气冲

加热器输出功率0-18KW

压强控制:节流阀;自动压强调节

设备总功率:110KVA,380V,三相四线制

设备总重:3.5t

设备占地面积:5m X 8m

冷却水流量:8t/hr

pvdπ形转靶

 

  • 节省镀膜时间
  • 实现定向镀膜

pvd石墨弧靶

 

  • 解决石墨靶钻弧灭弧问题
  • 可以镀制电弧法DLC

pvd线形离子源

 

  • 气体离化
  • 工件刻蚀辅助清洗

pvd离子渗透

 

  • 联合ARC沉积基础
  • 模具性能寿命显著倍增

pvd大功率偏压电源

 

  • 自动生成阀值,无需经常调节
  • 函数波形输出,起弧可能减至最小
  • 数字逻辑控制,准确无误
  • 调制电压的主弧轰击,功力强劲

pvd引孤系统改造

 

  • 自动引弧
  • 快速续弧
  • 不粘弧
  • 相邻弧源互相帮助