电弧深黑技术
离子过滤
比例给气自动流量控制器
数控节流阀
实验室专用小型镀膜机
1 SA0505-A4 型离子镀膜机是一台专为学校和科研单位研发的小型离子镀膜设备，可用于各种PVD试验。
2 该机为特别开发的实验室专用机。
技术指标
镀膜室尺寸:Φ500 mm X H 500 mm
极限真空度:优于＜5.3×10-4Pa
排空时间:（冷态，包括工件架）从大气抽至6.6 x 10-3 Pa时间〈 20min
等离子体加速器离化源数:4个
采用最新开发的五极离化源:确保颗粒细腻;幅射均匀;高真空稳弧 。
技术特征:
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内置加速电场
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恒定高斯的水平磁场
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直接水冷（或间接水冷）
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自动引弧
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快速续弧
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采用自稳弧电源
工件架直流负偏压电源：20 KVA。
采用我公司独有的工具镀专用偏压电源 ，具有特殊保护电路和快速灭弧装置。
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20KW配6弧设备使用,每弧分配功率高达3KW。装满炉,开全靶,1 KV 齐轰轻松自如
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特定函数波形输出,彻底消除危害性弧光
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数字逻辑控制,准确无误
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调制电压的主弧轰击,场能强大
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辅助的快速恢复功能,减少活化时间
工件架转速 额定值:公转转速4r/mim,自转转速15r/min。
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变频调速,无级渐变,缓起缓停,可换向
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负重40KG
供气系统:两路（可选配三路或四路）比例给气自动质量流量控制.
流量500—1000 SCCM 每路
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自动跟随真空室压强,自动调节进气量
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每路气均有质量流量显示
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无需混气罐,调节无滞后
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预设比例,总量自动或手动均可
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预设强置换功能,生成起步气冲
加热器输出功率0-18KW
压强控制:节流阀;自动压强调节
设备总功率: 50KVA,380V,三相四线制
温度测量方式:热电偶
表面测温方式:红外测温仪（选购件）
设备总功率:110KVA max,380伏、三相四线制
设备总重:2t
设备占地面积:2m X 3m
冷却水流量:2.5t/hr（进水温度25摄氏度以下，压力2KG/CM 2）
π形转靶 
石墨弧靶 
线形离子源 
离子渗透 
大功率偏压电源 
引孤系统改造 