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pvd电弧深黑技术

电弧法一般无法实现深黑色的镀层,只能镀到深灰。采用电弧深黑技术可以实现深黑电弧镀层。

  • 适于低成本镀制深黑色膜层
  • 在五金卫浴门锁领域有着广阔的应用前景

pvd离子过滤

电弧法的离子颗粒较大,采用离子过滤技术可以大幅改善膜层质量。

  • 滤除大颗粒和原子团
  • 实现镜面膜

pvd比例给气自动流量控制器

比例给气自动流量控制器的PVD设备会让生产更加得心应手。

  • 预定加减气体函数。
  • 实现渐进给气

pvd数控节流阀

节流阀采用微电脑控制的步进电机,主要有如下优点:

  • 节流阀在0~90度任意可调
  • 控制角度精确,工艺稳定
  • 数据设置操作简单

 

实验室专用小型镀膜机

1 SA0505-A4 型离子镀膜机是一台专为学校和科研单位研发的小型离子镀膜设备,可用于各种PVD试验。

2 该机为特别开发的实验室专用机。

技术指标

镀膜室尺寸:Φ500 mm X H 500 mm

极限真空度:优于<5.3×10-4Pa

排空时间:(冷态,包括工件架)从大气抽至6.6 x 10-3 Pa时间〈 20min

等离子体加速器离化源数:4个

采用最新开发的五极离化源:确保颗粒细腻;幅射均匀;高真空稳弧 。

技术特征:

  • 内置加速电场

  • 恒定高斯的水平磁场

  • 直接水冷(或间接水冷)

  • 自动引弧

  • 快速续弧

  • 采用自稳弧电源

工件架直流负偏压电源:20 KVA。

采用我公司独有的工具镀专用偏压电源 ,具有特殊保护电路和快速灭弧装置。

  • 20KW配6弧设备使用,每弧分配功率高达3KW。装满炉,开全靶,1 KV 齐轰轻松自如

  • 特定函数波形输出,彻底消除危害性弧光

  • 数字逻辑控制,准确无误

  • 调制电压的主弧轰击,场能强大

  • 辅助的快速恢复功能,减少活化时间

工件架转速 额定值:公转转速4r/mim,自转转速15r/min。

  • 变频调速,无级渐变,缓起缓停,可换向

  • 负重40KG

供气系统:两路(可选配三路或四路)比例给气自动质量流量控制.

流量500—1000 SCCM 每路

  • 自动跟随真空室压强,自动调节进气量

  • 每路气均有质量流量显示

  • 无需混气罐,调节无滞后

  • 预设比例,总量自动或手动均可

  • 预设强置换功能,生成起步气冲

加热器输出功率0-18KW

压强控制:节流阀;自动压强调节

设备总功率: 50KVA,380V,三相四线制

温度测量方式:热电偶

表面测温方式:红外测温仪(选购件)

设备总功率:110KVA max,380伏、三相四线制

设备总重:2t

设备占地面积:2m X 3m

冷却水流量:2.5t/hr(进水温度25摄氏度以下,压力2KG/CM 2)

pvdπ形转靶

 

  • 节省镀膜时间
  • 实现定向镀膜

pvd石墨弧靶

 

  • 解决石墨靶钻弧灭弧问题
  • 可以镀制电弧法DLC

pvd线形离子源

 

  • 气体离化
  • 工件刻蚀辅助清洗

pvd离子渗透

 

  • 联合ARC沉积基础
  • 模具性能寿命显著倍增

pvd大功率偏压电源

 

  • 自动生成阀值,无需经常调节
  • 函数波形输出,起弧可能减至最小
  • 数字逻辑控制,准确无误
  • 调制电压的主弧轰击,功力强劲

pvd引孤系统改造

 

  • 自动引弧
  • 快速续弧
  • 不粘弧
  • 相邻弧源互相帮助